大気圧プラズマ源の応用

  概要

オゾンは強力な酸化作用があり、殺菌・脱臭などの用途に利用される。他の酸化剤のように残留性がなく、 反応後に環境に無害な酸素に戻るため、理想的な酸化剤として利用できる。有害有機物を分解・無害化 する作用も認められていることから、環境を重視する風潮において利用範囲は拡大していくと考えられる。

  オゾン生成の方法としては主に放電法が利用されている。放電空間に酸素又は空気を通し、 エネルギーを与えて活性化させると、解離または励起された酸素の一部がオゾンに変化する。放電法の中では一般的に無声放電が用いられている。本研究は、無声放電よりも低い電圧で 放電が可能なMCS放電を用いてオゾン生成を行うというものである。従来の生成方法と比較して、 生成効率・濃度の向上を目指している。